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AT-800光罩檢測設備(出貨檢測)
 
型號:AT-8OO
AT-800 專注於主圖形外之檢測,以避免光罩製造廠人工誤判,並提高客戶的稼動率、及良率。
 
  • 詳細說明

 檢測模組

 功能

 主圖形區外之檢測

 Fix Pattern區之微塵檢測、pin-hole檢測

 6mm區之pin-hole檢測

 背面檢測

 Quartz之背面微塵與刮傷檢測

 鋁框內壁檢測

 鋁框內壁的微塵檢測

 防塵膜檢測

 防塵膜的微塵檢測與防塵膜凹膜/凸膜檢測

 判斷微塵在防塵膜之上方或下方

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