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UNICORN-760 Series
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◎ 效益:
不因他牌檢測設備異常,影響曝光機設備稼動率
◎ 應用:
45 – 16 nm 製程中先進半導體元件的光罩檢測
Foundries 之光罩進貨 / 曝光前檢測