◎ 2022
推出第二代 Mask Inspection Tool for PCB Factory
研發第二代 Switch Tool
研發第一代 Wafer Inspection tool
◎ 2021
推出第一代 Mask Inspection Tool for PCB Factory
推出第一代 Switch Tool
◎ 2020
推出第一代 Defect Classification System
推出第二代 EUV Pellicle Inspection Tool
◎ 2019
擴展研發中心
推出第三代 Through POD Mask Inspection Tool
推出第三代 OQC Mask Inspection Tool
推出第二代 EUV Mask Inspection Tool
研發 Optical CD Measure 之量測技術
研發 Defect Classification 之 AI 分類技術
◎ 2018
推出第一代 EUV Pellicle Inspection Tool
推出第一代 EUV Mask Inspection Tool
研發 Foundry 適用之 Optical Mask 檢測技術
◎ 2017
推出第二代 Through POD Mask Inspection Tool
取得3張發明專利
研發並投入 EUV Mask & EUV Pellicle 檢測技術
◎ 2016
推出第二代 OQC Mask Inspection Tool
取得6張新型專利
◎ 2015
推出第一代 Through POD Mask Inspection Tool
投入 Through POD Mask 檢測技術
◎ 2014
研發 Through POD Mask 檢測技術
推出第一代 OQC Mask Inspection Tool
研發並投入 Mask Shop 適用之 Optical Mask 檢測技術
◎ 2012
取得1張新型專利
◎ 2011
改制艾斯邁科技股份有限公司
◎ 2003
成立艾斯邁科技有限公司
