◎ 2022
推出第二代 Mask Inspection Tool for PCB Factory
研发第二代 Switch Tool
研发第一代 Wafer Inspection tool
◎ 2021
推出第一代 Mask Inspection Tool for PCB Factory
推出第一代 Switch Tool
◎ 2020
推出第一代 Defect Classification System
推出第二代 EUV Pellicle Inspection Tool
◎ 2019
扩展研发中心
推出第三代 Through POD Mask Inspection Tool
推出第三代 OQC Mask Inspection Tool
推出第二代 EUV Mask Inspection Tool
研发 Optical CD Measure 量测技术
研发 Defect Classification 之 AI 分类技术
◎ 2018
推出第一代 EUV Pellicle Inspection Tool
推出第一代 EUV Mask Inspection Tool
研发 Foundry 适用之 Optical Mask 检测技术
◎ 2017
推出第二代 Through POD Mask Inspection Tool
取得3张发明专利
研发并投入 EUV Mask & EUV Pellicle 检测技术
◎ 2016
推出第二代 OQC Mask Inspection Tool
取得6张新型专利
◎ 2015
推出第一代 Through POD Mask Inspection Tool
投入 Through POD Mask 检测技术
◎ 2014
研发 Through POD Mask 检测技术
推出第一代 OQC Mask Inspection Tool
研发并投入 Mask Shop 适用之 Optical Mask 检测技术
◎ 2012
取得1张新型专利
◎ 2011
改制艾斯迈科技股份有限公司
◎ 2003
成立艾斯迈科技有限公司
